Teknik Bilgiler

4. Seramik taşıyıcılar üzerindeki rezistans termometreler

70°C ile +500°C arasında sıcaklık aralığı. Özel türler 196°C ila +500°C.

Sıcaklık ölçümünden sorumlu platin kaplama  sırasıyla aşağıdaki üç işlemden birine tabi tutulur:

  • Serigrafi baskı
  • Buharlaşma
  • Püskürtme

Üç işlemde de rezistans lazerle oluşturulabilir.

İlk işlemde rezistans ayrıca doğrudan yazdırılabilir.

Bugün ince film teknolojisinde rezistansın yapısının oluşturulması yarı iletken teknolojisinden itibaren optik litografi ve püskürtme hassasiyeti yoluyla gerçekleştirilmiştir.

İnce ayar daima bir lazerle yapılır. Bunun için kırpıcı veya farklı uzunluktaki (ve farklı dirençteki) ayar şeridinin üretimi sırasında şu anda ana iletken şeridinin ihtiyacı üzerine etkinleştirilen araçlar kullanılmaktadır.

Şek. Katman ölçüm rezistörü

Şek. Katman ölçüm rezistörü

Şekil 4. Kılıflı direnç sensörünün yapısı

Şekil 4. Kılıflı direnç sensörünün yapısı

Kıvrımlı yüzeyler erimiş camla kaplanır. Normal kurulum koşullarında bu dirençler titreşime dirençlidir. Bu rezistansların gecikme davranışı neredeyse tamamen cam türüne bağlıdır. Yalnızca birkaç mm boyutunda olan kılıf sensör rezistansları tüm sensör rezistansları arasında en ekonomik seçimdir ve en yüksek verimi sunar.